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DRF罗茨真空泵

DRF罗茨真空泵

功??????率:1.5~11KW

气??????量:300~4200m?/hr

排气压力:0.02Pa

传动方式:

冷却方式:

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DRF罗茨泵真空泵是一款技术成熟的真空获得设备,与前级泵配合组成后,扩展了前级真空泵在较低入口压力下的工作范围,可应用于广泛的工业用途。

●提高真空度

按照一般经验,在配置罗茨真空泵后,系统真空度可提高1个数量级,如配备两级罗茨泵,系统真空度可进一步提高。

●增大抽速

罗茨泵的一对转子在转动时没有相互接触,因此可以高速运转,几何尺寸较小的罗茨泵也能达到较高的抽速。通过选择合适的前级泵与罗茨泵组合,可使小抽速的前级泵实现抽除大量气体,相比相同抽速的单一前级泵,可明显降低能耗。

●无油运行

罗茨泵的泵腔内无油,因此抽送介质不会被污染。

优越特性

因为传动结构采用了柔性的液力装置-一种高效的动力传动方式,DRF系列罗茨真空泵拥有紧凑的结构以及如下的优越特性:

●真空系统可以在减少配置旁路管道及阀门或者省略变频器的设计条件下,获得远超传统增压泵的整体抽速效果,硬件成本节约显著,控制要求明显降低;

●液力传动结构可以自动调整泵的转速,即使泵在高压下工作,电机也不会过载或过热;

●相比传统的直联传动,即使在入口压力骤变或者吸入异物时,泵业不会损坏,停机故障率可大大降低;

●DRF系列罗茨真空泵可以与前级泵同时在大气压下启动而不会使电机过载,因此可以更早的作用于整个抽空过程,从而明显缩短抽空时间,特别适用于需要快速抽空的场合;

●非常安静平稳的运行,极微小的振动;

●可靠的轴封结构可以确保润滑液不会进入泵腔内;

●因为无需旁通管路和阀门等,泵的维护也相当简单。

 

应用领域

工业:医疗技术、工业检漏、电子束焊接、真空隔离、灯具灯管制造、热处理、真空干燥,冻干、真空炉,冶金工程。

研发:核子研究、融化技术、等离子体研究、粒子加速器、空间模拟、低温研究、基本粒子物理、纳米技术、生物技术。

涂层、镀膜:平板显示器、LED/OLED、硬盘涂层、光伏电池、玻璃镀层、CD-DVD-蓝光、光学镀膜、耐磨涂层。

半导体:光刻,平面印刷、物理气相沉积PVD、化学气相沉积CVD、等离子刻蚀、离子注入、光束注入、检视、粘合、分子束外延。

 

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